Thèse : Development of compensated immersion 3D optical profiler based on interferometry

Soutenance de thèse : Husneni MUKHTAR

Équipe : IPP

Titre : Development of compensated immersion 3D optical profiler based on interferometry

Résumé : La profilométrie optique en microscopie interférométrie est une technique d'imagerie optique 3D bien établie permettant la caractérisation de surfaces d'une manière non- invasive, rapide et avec une résolution axiale nanométrique. Cette technique de mesure est parfaitement adaptée à la mesure de rugosité de surface pour des structures ou circuits microélectroniques, des éléments optiques diffractifs, des systèmes micro- électromécaniques (MEMS) ou des dispositifs de micro-fluidiques. L'Interférométrie en lumière blanche CSI (Coherence Scanning Interferometry, également connue comme White Light Scanning Interferometry, WLSI) est une technique basée sur la détection du pic ou de l’enveloppe de franges d’interférence. Classiquement les microscopes interférométriques se limitent aux mesures des échantillons dans l’air. A l’instar de la microscopie 2D dans le domaine biologique, différents groupes de recherche cherchent à développer la microscopie interférométrique en milieu liquide. Le travail dans un milieu liquide permet, outre l’amélioration de la résolution latérale en microscopie optique, d’ouvrir le domaine d’application à l’étude d’échantillons nécessitant l’immersion dans de l’eau ou dans du sérum physiologique. Ce travail de thèse se fait dans le cadre du développement instrumental d’un microscope interférométrique de type Linnik en immersion à haute résolution axiale et fort grossissement. L’étude bibliographique a permis d’établir un état de l’art dans le domaine de la microscopie interférométrique en immersion. Elle a également permis de mettre en évidence les verrous scientifiques et technologiques à lever afin de réaliser un système opérationnel en immersion et l’étude des solutions de compensation du chemin optique entre le miroir de référence et son objectif. Dans ces travaux sont présentés l’adaptation d’un interféromètre industriel construit par la société FOGALE pour la mesure en immersion et appliqué à la mesure de couches d’agrégats de colloïdes étudiées par le groupe de radiochimie de l’IPHC.

Le jury est composé de M. Paul MONTGOMERY, directeur de recherche (Laboratoire ICube Strasbourg, directeur de thèse), M. Christophe GORECKI, directeur de recherche (FEMTO-ST Besançon, rapporteur), M. Bruno SERIO, professeur (LEME Paris, rapporteur), M. Rémi BARILLON, professeur (IPHC Strasbourg, examinateur) et M. Freddy ANSTOTZ, Maître de conférences (Laboratoire ICube Strasbourg, examinateur).

La soutenance se tiendra en anglais le vendredi 29 juin 2018 à 14h00, dans l’amphithéâtre Marguerite Perey (Bâtiment 01, campus de Cronenbourg, 23 rue du Loess).